样品的传入

在软件控制界面，选中“Sample”选项卡（图 79-1）；

检查分析腔、准备腔和进样腔真空度是否正常并记录（图 79-2）；

在软件控制界面，点击“Vacuum Details”（图 79-3 ），检查T1-T5是否处于绿色状态，检查V1、V2是否处于关闭状态，检查传样杆1和传样杆2是否退到底（图 79-4）；

检查准备腔的样品停放台是否处于最高点；

Note

如以上项目异常请联系技术员(通常G1 < 5 x 10^-10 mbar, G4 < 1 x 10^-10 mbar, G3 < 1 x 10^-7 mbar)

在软件控制界面，点击“Vent Entry Lock”（图 79-5）；

等待3-5分钟后（等待期间左手戴好手套），进样腔门打开，将样品托插在传样杆上；

关闭进样腔门，在软件控制界面，点击“Pump Down Entry Lock”，在弹出的对话框中点击“Yes”，立即用手轻推进样腔门，直至腔门关好；

等待1-2分钟，观察到进样腔真空稳步下降后，方可退出账号离开。

Note

“Pump Down Entry Lock”和“Vent Entry Lock”按钮处于同一位置。

确认进样腔真空已达到1x10^-10 mbar以下（约需1-2小时，视样品情况不同），记录当前真空度；

将准备腔中的样品停放台降至合适位置（有红线标示）；

Note

下降时应持续观察停放台，防止其碰撞传样杆2。

在软件控制界面，点击“Open Gate Valve V2”，V2打开后，左手将传样杆1缓慢推入，眼睛保持观察样品停放台以防发生碰撞；

右手微调停放台至合适的高度和角度，将样品托完全送入样品停放台；

Note

1. 全程应绝对轻柔，如有较大阻力，切勿强行推入，及时联系技术人员。

2. 严禁在传样杆和停放台接触的情况下调节停放台的高度和角度。

旋转传样杆1，待夹子完全张开后，缓慢将传样杆1退出；

Note

如发现样品托有被带出的迹象，应回转传样杆，并将样品托完全推回停放台，再退出传样杆，重新自步骤5开始执行。如有困难请务必联系技术人员。

将传样杆1退到底，并将样品停放台升至最高点；

Note

上升时应持续观察停放台，防止其碰撞传样杆2。

在软件控制界面，点击“Close Gate Valve V2”。

确认准备腔真空达到1x10^-10 mbar以下；

在软件控制界面，点击“Move Stage To Transfer Position”；

将准备腔的样品停放台降至合适位置（有红线标示）；

Note

下降时应持续观察停放台，防止其碰撞传样杆2。

右手将传样杆2缓慢推入，保持观察样品停放台以防发生碰撞；

左手微调整停放台至合适的高度和角度，使传样杆2抓住样品托；

Note

1. 全程应绝对轻柔，如有较大阻力，切勿强行推入，请联系技术人员。

2. 严禁在样品托和停放台接触的情况下调节停放台的高度和角度。

缓缓将传样杆2退出，注意观察样品是否被牢固地取出；

Note

如发现样品托有被带出的迹象，应将样品托推回样品台，停止操作并联系技术人员。

样品完全取出后，将传样杆2退到底；

旋转样品停放台至相反方向，以免上升时碰撞传样杆2及其上的样品托；将样品停放台升至最高点；

在软件控制界面，点击“Open Gate Valve V1”，打开闸板阀V1，移动传样杆2将样品插入分析腔内的样品台；

Note

如有明显阻力，请停止操作并联系技术人员。

旋转传样杆2，待夹子完全张开后，缓慢将传样杆2退出；

将传样杆2退到底；

在软件控制界面，点击“Close Gate Valve V1”。