直线段开烘烤和除气流程

Vent直线段

1. 将闸板阀控制切换到手动模式

2. 关闭灯丝和两个离子泵

3. 等待半小时后，用氮气进行Vent。vent注入口可在全金属角阀外接口处包上手套，用气管注入氮气，并缓慢打开全金属角阀。直到发现手套鼓起代表内部已经为大气压。

烘烤前准备

1. 通过全金属球阀外接泵组，接捡漏仪捡漏不漏后，开启泵组后等待半小时后可打开真空规。

2. 将两组对射开关从直线段上取下

3. 点击对应直线段PLC控制面板上的“EL.line2”键。注意只有当该段直线段真空优于XGS600 setpoints的”ON”值时，才能按下interlock，直线段设置为1E-5mbar。

4. interlock控制加热模块，从interlock灯亮起的加热控制器上取电源，图中三个控制器interlock灯亮起。不然无法达到加热模块和真空互锁的效果。注意热偶前面板的控制器要和后面板的输出线一一对应起来，可以通过插拔热偶来确定，拔掉热偶就没有温度显示。

5. 用铝箔包裹直线段，缠加热带，用铝箔胶带固定热偶到加热带上，最后再包裹一层铝箔。加热带避免直接覆盖在视窗上。

烘烤

1. 在温控器上设置烘烤温度，升温速率和时长。建议烘烤温度为120度，升温速率小于1度/分钟。同时插上离子泵的加热开关

2. 每天记录一次烘烤温度和气压变化，等到气压稳定后，可进行除气流程。

除气

1. 将烘烤控制到80度时，进行除气流程。除气时点击PLC面板上左上角的“除气”键，类似于进入手动模式，这会将interlock短接。

2. NEG按照如下方法进行除气，并记录电流和真空的关系，结束后将NEG电流缓慢降低到0。

3. 离子规两个灯丝除气

4. 结束后降温到室温，同时拔掉离子泵加热

5. 等到室温后，反复开启离子泵，直到离子泵开启后真空下降。

恢复

1. 去掉铝箔和加热带

2. 连接好两组对射开关

3. 关闭全金属角阀，关闭泵车并将其移走。

4. 闸板阀模式切换到自动模式