主控单元各界面介绍

真空操作界面

真空界面可进行的操作有

1. 开关直线段与各腔体连接闸板阀，

2. 互联腔体的操作，

3. 激活加热模块真空互锁以及除气功能

从左向右从上向下分布了 UFO2、UFO4、OXMBE、Se MBE、UFO1、UFO3、LL.Cubic、LL.Line 腔体，Line1-4 为直线段。

直线段与各腔体连接闸板阀开关步骤

1. 其他腔体的真空读数没有集成在直线段系统上，首先确认要打开的闸板阀两边腔体真空满足开阀条件。以UFO1和Line4之间的闸板阀为例

2. 确认完真空后，点击腔体假信号SP设置，出现假信号界面

3. 点击UF01.Line假信号，告诉系统闸板阀两端真空满足开阀要求，假信号显示已强制，然后关闭此界面

4. 点击该闸板阀图标，弹出GV.UFO1.Line界面

5. 点击开启，状态由已关变为已开，闸板阀颜色由黑色变为绿色，代表闸板阀已打开

6. 传样结束后，点击关闭，关闭闸板阀，进入假信号界面，将腔体假信号复位。

LoadLock取放样品操作

由此系统控制真空操作的腔体分别为 LL.Line、LL.Cubic、Se MBE。其中Se MBE为何睿华组腔体，非该组人员禁止操作。以LL.Line为例，取放样品操作步骤如下：

1. 确认小车上没有不能暴露大气的样品

2. 将小车移到LL.Line腔体（小车移动方法见小车控制界面）

3. 确认LL.Line与直线段之间的闸板阀已关闭

4. 点击LL.Line腔体图标，弹出LL.Line真空控制界面， （说明：LL.Line 腔体通过 GV-Y 阀和直线段对接。利用一个 DP 和 TP，维持其真空，PV 和 UHV 分别是初真空和高真空信号灯。SV 和 VV 分别为安全阀和 Vent 阀。Se MBE 和 LL.Cubic 界面类似。）

5. 点击上图界面上的停止, 此时 SV 关闭（由绿变黑色），分子泵开始降速，等待30分钟左右，待分子泵完全降为0。

6. 点击LL.Line腔体图标，弹出放气阀控制界面。首先打开该腔体vent氮气对应的阀门，在UFO3西侧沟槽，然后点击开放气阀VV。

7. 打开快开门的锁扣，等待真空到达大气压后，打开快开门，进行取放样品操作。注意带手套操作，用真空用工具取放样品。

8. 取放样品后，关闭快开门，锁扣锁好。关闭放气阀，关闭氮气阀门。

9. 点击启动，SV阀自动打开，待真空达到8E-2mbar后，PV指示等变绿，分子泵启动。

10. 在分子泵转速达到 100%之前，请时刻注意真空是否可以抽下去，如果不行，请停泵，检查是否有漏。

11. 待分子泵满转抽一段时间后，腔体真空优于8E-8mbar。如果需要加热（仅适合于LL.Cubic），点击开EL, 真空腔体图标会变绿，此时可对升温模块进行操作。