大尺寸氢裂解源操作

使用前检查

1. 氢源的加热线已连接，源和套筒的水冷进出水阀已开，气瓶减压阀出气口压力大于0.1MPa(一般不需要动气瓶总阀和减压阀)；

2. OMBE真空正常，本底真空~3E-10mbar；

3. Shutter处于关闭状态（对应“40mm”位置）且shutter控制器开启、软件通讯正常。

使用

1. 连接氢源电源（插线板连墙插），打开开关；

2. 点击“Vi-Check”以每5分钟加1A的速率加至13A左右（关注气压，气压增量不要太大，在13A，本底真空约1.5E-9mabr）

   Note

   1. 电流较大时，加慢一点，可以点击IFINE细调节，气压增量比较大；电流较小时可适当加快升温速率，以真空为准。 备注2：加热丝总功率加至约223W，目前对应电流值约为13.15A。（电阻值可能发生变化，以总功率为准）。

   2. 灯丝电流不要超过16A，有损坏灯丝的危险

   3. 223W使用时间推荐在120分钟内。

3. 气压稳定的前提下，缓慢逆时针拧动微漏阀通入氢气，目前推荐的气压增量为2E-9mbar，转化效率＞1.6%；

Note

微漏阀最初的一段真空没什么变化，气压有变化之后，要缓慢拧，使气压平稳增加至需要的量。

4. 样品在传样位置，且样品朝下（基本上位于腔体中心，正对氢源）

5. Shutter全开（对应5mm处），同时计时，即处理样品的时间。

6. 计时结束，关闭shutter。

7. 顺时针拧紧微漏阀，停止通入氢气。

8. IFINE细调节模式下，把电流降为0A，关闭控制器电源开关，拔掉墙插并收好插排。此时真空应该恢复。

挡板的Can：756/motor 10