光源1：紫外气体灯

用前检查

用户使用紫外灯前， 应确保紫外灯处于初始状态:

1. 泵组状态: 在控制面板上检查紫外灯泵是否正常，(转速SPO约90000 RPM， 功率POW约5 W)。

2. 紫外灯位置: 紫外灯完全退出 ARPES 腔体， 位置指针位于刻度标尺5cm以上。

3. 闸板阀状态: 紫外灯手阀处于关闭状态。

4. 气路: 初始状态下， 气体钢瓶主阀关闭， 减压阀读数在0.5-1bar之间; 气路面板初始状态如下图初始状态， 对应使用气 Xe/Kr 的进气阀门打开，V1、V3 打开，V2 关闭， 漏阀 VL 部分打开．

注意: 紫外灯控制面板只显示气动阀的电控状态， 无法检测是否有高压空气通入阀门， 当前级真空过差时1E-2 mbar， 要确定气动阀是否真正打开。

开启设备，以Kr灯为例

1. 供气: 打开气体钢瓶主阀和减压阀 (减压阀调节在 0.5-1bar 之间， 正常不需要操作)，打开 V2， 缓慢打开 VL， 控制 DP1 所在的光源腔真空达到 2~5E-4 mbar。注: 微漏阀VL反应不敏感， 需要慢慢打开(正常情况下也设置好，不需要操作)， 若不慎将腔体真空升至 1e-3 mbar 量级， 需调小微漏阀， 待真空恢复至 2-5e-4 mbar 再进行下一步。

2. 点亮紫外灯: 供气完成后， 在固态微波源的操作界面上操作点亮紫外灯， 如图4.4所示．首先点击 1 开启电源， 然后点击 2 开启射频， 缓慢转动固态微波源右侧的 RF ADJ 旋钮 4， 升高微波功率 3 和输出功率 5， 当微波功率达 5 到 30 W（Xe 灯为 10W）时， 紫外灯光源会发出暗紫色光， 此时紫外灯已被点亮．随即降低输出功率至 3 W（Xe 灯为 1 W）， 改变微波频率使反射功率接近 0， 使紫外灯处于正常工作状态．使用时， 输出功率和反射功率应保持稳定．

3. 缓慢转动位移台使紫外灯移动至刻度标尺 0.5 cm 附近， 移动过程中注意用 CCD 和视窗观察 ETC 前端与样品之间的距离， 以免发生碰撞．然后打开手阀， 使激发光照射到样品表面。

注意: 观察开阀真空增量，打开手阀后，主腔真空增量好于 5E-12 mbar。

关闭设备

按照与开启设备相反的顺序关闭设备: 缓慢降低微波功率至 0，关闭射频和电源。关闭手阀。然后缓慢转动位移台至刻度标尺 6cm 附近。 关闭气路V2和气瓶主阀。

气体更换

实验过程中，需要更换UV灯工作气体以变更光子能量时，可按以下流程进行。换气前确保紫外灯完全处于初始状态，关闭漏阀VL，关闭所有钢瓶主阀和进气阀。洗气过程：

1. 在洗气口接入一台干泵，依次打开V0，V1，V2,对前半部分气路进行抽气，抽气5分钟左右后，关闭V0。

2. 关闭新气瓶减压阀，打开钢瓶主阀，调节减压阀充气至0.5bar，然后关闭钢瓶主阀，缓慢打V0，全开后抽气10分钟左右，关闭V0。该步骤重复3次。

3. 关闭新气瓶的减压阀，打开钢瓶主阀，调节减压阀至0.5 bar，完成换气。

4. 重新开启紫外灯，检查出光状态，若出光正常，则拆除干泵，继续实验。

注意： 在实验中过程中换气，紫外灯真空显示为5E-4mbar量级。如果关闭V3，由3个分子泵抽气路到1E-8mbar量级需要1小时左右。最快的方式，是在接上干泵之后抽起来之后，将除了钢瓶主阀之外的所有阀都打开，把紫外灯内部抽到8E-8mbar以下时，关闭微漏阀门，后面再正常洗气。

Note

现在的滤片用的时CaF2，能过滤10eV以上的光，不能区分Xe的两个能量8.43eV和9.57eV，前者强度是后者的10倍