LL 加热台使用

升温前检查

  1. 确认直线段和 ll cubic 之间的闸板阀关闭 (左图蓝色框闸板阀位置,右图蓝色框闸板阀图标位置)

  2. 确认样品已传至高温样品架

  3. 检查 ll cubic 是否优于 5E-8 mbar

  4. 检查 WS、传样杆是否已退到底

  5. 检查六停放台是否和样品台具有一定距离

以上检查全部完成后,在 PLC 面板上打开 EL。打开 EL 可见 主控单元各界面介绍

Note

升温过程中请时刻关注真空度,不可超过 1E-6 mbar。若超过,请立刻降温。超过 5E-6 mbar 时,EL 会被触发,切断加热,关闭 SV 并停分子泵。

升温操作

  1. 激活 EL 后,温控器面板上 EL 灯亮,打开温控器开关。

直线段_温控器

图 15 直线段温控器

  1. 升温有两种模式:Auto 加热模式Manual 加热模式,一般使用 Auto。

    1. 确认处于 Auto 模式

      如果不是,按住上下两键 3 秒,出现 Man-Auto 选择界面,按上选择 Auto,然后按回车符号进入 Auto 模式。

      直线段_欧陆表

      直线段欧陆表

    2. 在 Auto 模式下

      通过上下两键设置目标温度进行升温或降温(长按时,刚开始速度慢,后续会变快)。

    3. 升降温速率调节

      升降温速率不能超过 10°C/min。调节方法如下:

      1. 按 menu 键

      2. 按上键进入第二层控制

      3. 按回车

      4. 连续三次回车

      5. 按上输入密码 0002

      6. 按回车确认

      7. 按回车进入 SP.UP 升温速率界面,按上下调节速率

      8. 同理进入降温速率界面

      直线段_欧陆表升降温速率

      图 16 直线段欧陆表升降温速率

    4. PID 调节

      也可在第二层控制内调节。具体调节见下图,不同温度选择不同 PID。

      直线段_PID

      图 17 直线段温控器PID

      直线段_温度电流参考表

      图 18 直线段温度电流参考表