臭氧发生器操作

使用前的检查

1. 检查氧气气路是否正常，气瓶气体充足与否。氧气气瓶减压阀压力是否在0.6bar左右

2. 检查臭氧发生器气路系统，V1打开，V2,V3均关闭。臭氧机械泵工作正常，声音无异响。机械泵阀门开启，压力表-102kPa左右。注入主腔体的球阀处于关闭状态

   Note

   V4针阀失去调节作用，在使用过程中一直保持开启

3. 检查系统下方P1（制冷机）、P2（反应池）、P3（流量控制）和P4（加热器）都处在关闭状态。

4. 检查制冷机水冷是否正常，确保emergency旋钮被拔出。

准备工作

1. 打开V2，抽气路5min；

2. 保险起见，将OMBE主腔控制面板切换到手动模式；

3. 关闭V2，打开靠近主腔的臭氧注射阀门；

4. 依次打开V3、氧气气瓶主阀；

5. 打开流量控制P3，拨动遥杆至阀控模式，设置流量为0.04-0.05SLM，洗气开始；

6. 打开制冷P1和加热P4；

7. 将加热P4设为95K，运行c3,这一步通常在上次结束时已经重新设置好，只需检查一下；

8. 加热温度面板降至250K以下后，通常在上次结束时已经设到95K，只需检查一下。此时关注c1界面，也就是制冷器。先检查其设定温度是否为75K，直接c1面板点击运行开始降温。此时c1和c3同时降温，该环节需半小时左右；

臭氧制备和提纯

1. 当c3稳定在95K，c1稳定在75K时候，此时加热器上方绿色长条led屏显示电压电流大概在7V，0.14A左右；

2. 调节流量控制器旋钮，将氧气流量增加到0.4-0.5SLM，此时加热器功会有所下降；

3. 将定时设置为20-30min c4，打开P2，反应正式开始，臭氧从此刻生成；（备注：此时开始到系统关闭，现场确保有操作人在旁）

4. 臭氧制备完成后，p2自动关闭。

臭氧注入

此部分的操作原理是利用控制c3的温度来控制气压，温度越高，气压越大。

1. P2关闭后，关闭V2V3（一定要拧紧!），等待5-10min；

2. 等待期间，将流量控制c2先调至最低，再拨到关闭档关闭，同时关闭氧气气路气瓶主阀；

3. 一边关注压力表一边慢慢关闭v1（拧紧！），若气压明显上升表示v3没关紧，需要重新打开V1，并回到步骤1，重新操作至此；

4. V1关闭后，若压力表示数正常（小于-100kPa），保持关注主腔真空同时缓慢开启V2，正式注入臭氧；气压一般不超过5E-6mbar，如有需求联系技术员；

5. 打开RGA，监测气体组分，扫analog和PvsT记录；

6. 根据所需气压，缓慢提高c3（液化池）温度，一般不超过102K，观察真空度变化。

臭氧系统关闭

1. 关闭臭氧注入阀门V2，此时主腔真空会有明显改善；

2. 迅速打开v1，确保后续释放的臭氧被机械泵抽走；

3. 将液化池c3温度升至115K，维持20min；

4. 关闭V1，若此时气压表上升，那么打开v1再继续等待一会；若气压值稳定维持在-102kPa左右，则排气完成；

5. C1关闭，c3重新设置回95K；

6. 关闭制冷机P1、流量控制P3和加热P4，最后打开V1。