RHEED操作

使用前需要确认

1. RHEED的接线是否接好：高压和偏转两条线，高压上红色的Interlock插好。

2. 生长时真空确认：若使用臭氧，必须开差分；若不使用臭氧，且生长真空优于在1E-8mbar，可不开启。

3. 差分泵组情况确认：金属角阀为关闭状态，泵组开启后能迅速抽到5E-7mbar。

Note

如果泵组有问题，真空下不去或分子泵没法满转等，请联系管理员。

RHEED的使用

1. 连接好线后，打开前面板电源开关，同时绿色的interlock指示灯亮起；

2. 缓慢将电流升起，在0.5A的时候保持5分钟，给灯丝除气，继续升起电流到1.5A。在1A以下，速度不超过0.05A/s；在1A以上，速度不超过0.01A/；

   Note

   平台Rheed换过一次灯丝，比先前灯丝较粗（也是staib原厂灯丝），故而可承受较高电流，最终电流可加至1.6或1.65A。使用经验来看时，1.5A足够。此时发射电流约为0.5uA。

3. 缓慢加电压，速度不超过0.1kV/s，加至12kV；

4. 打开软件，通过软件上CCD的影像观察RHEED图。

   Note

   打开软件，需要将Analog Gain设置到5以下。不然通讯连接不上

5. 操纵RHEED手柄。DEFL_X和DELF_Y调节RHEED光斑在屏幕上位置，X为上下，Y为左右。ROCKING和DEFL_X效果类似，通过两者连调可以保持电子束在样品的位置不变，只改变角度。GRID和FOCUS改变电子束大小和聚焦。

6. 如何找到RHEED衍射斑：

1. 调节样品台高度和DEFL_X找到样品；

2. 选择合适的GRID和FOCUS，以及Analog Gain，使电子束光斑合适；

3. 移动DEFL_X和DEFL_Y以及样品台高度，找到零级衍射条纹；

4. 旋转样品台，到高对称方向（比如110，100等），并同时调节DEFL_X，DEFL_Y和样品台高度，出现高阶衍射条纹以及菊池线。必要时候配合使用ROCKING。

7. 使用结束后，缓慢降低电流和电压到零，速度同第2步。

8. 关闭电源，收好线缆放入塑封袋，并将电子枪接线处用铝箔包裹好。

9. 如果使用差抽，需要同时拧紧金属角阀。