样品台和高精度掩模操作

样品台和高精度XY掩模板控制集成在一个软件内,使用时需确保两者控制器都打开。

本设备配有两个垂直方向的高精度淹没板,通过软件控制,界面和样品台集成在一起。掩模版运动通过软件上的1和2控制,可实现普通的掩模生长功能。如果需要进行梯度生长,请联系管理员,一起观察,更改掩模版的运动速度。

这里放三个图

软件怎么使用介绍一下

传样建议位置

X=

故障排除

通讯问题: Z到了一个奇怪的位置,进入config将当前位置设到现在 set enconder 建议检查USB线是否连接好,或者重新插拔USB线。