通用注意事项
传样
样品需牢牢固定在托上,在MBE主腔内发生掉样是不被允许的。
传样时,从传样杆尾端往前看,抓取头抓取托后,顺时针90°为紧上。紧上后,逆时针90°为松开。
往样品台传样时,多尝试不同的样品台高度,传样杆旋转角度以及抓取头抓取的方式(转动180°抓)。如有需要,可以轻微的掰动传样杆,切勿大力掰动。调节传杨杆PA需管理员在场。
往异型停放台传样时,可自由调节异型停放台的PA,让传样更加顺利。
生长结束后,MBE真空优于1E-9mbar可以往直线段传样。
源的使用
在Ebeam,高温源,臭氧发生器和氢源使用时,人员务必在场不能离开。
给Ebeam升电流时需非常慢,注意观察真空变化和灯丝电流是否跳动。
氢源和臭氧不能同时使用,且两者使用间隔需等到设备恢复到本底真空3E-10mbar。通常臭氧使用12小时内,真空可恢复。