样品固定

  1. 本系统使用的是通用的旗型样品托。

  2. 衬底通常选取5mm×5mm,或10mm×10mm大小,表面需平整,保持和样品托平行,固定在样品托的正中央。通常来说衬底都需要加热处理,推荐使用金属条点焊或者螺丝压片固定。也可使用高温胶如铂胶和碳胶,但需要粘好,避免掉样。

样品托

图 65 样品托

Note

要测试RHEED,建议利用凸台样品托。因其将样品垫高,更有利于RHEED形成更好的掠入射角度。