结束实验

检查所有源是否已经关闭；

在 图 81 界面中，点击“Move Stage To Transfer Position”；

确认移动完成后，在 图 81 界面中，点击“Open Gate Valve V1”；

确认样品停放台处于最高点，然后目视确认V1已经打开，将传样杆2缓慢推入；

将传样杆2轻轻推到底使之抓住样品托；

Note

全程应绝对轻柔，如有阻力，请联系技术员。

缓缓将传样杆2退出，注意观察样品是否被牢固地取出；

Note

如发现样品托抓取不牢，请联系技术员。

样品完全取出后，将传样杆2退到底；

在 图 81 界面中，点击“Close Gate Valve V1”；

将准备腔的样品停放台调整至不会碰撞的角度并降至合适位置（有标示）；

Note

下降时应持续观察停放台，防止其碰撞传样杆2。

调整合适的高度和角度，将样品托传入样品停放台；

旋转传样杆2，待夹子完全张开后，缓慢将传样杆2退到底；

将样品停放台升至最高点，期间保持观察以防碰撞。

确认进样腔真空达到1 x 10^-7 mbar以下；

在 图 81 界面中，点击“Open Gate Valve V2”;

将准备腔的样品停放台降至合适位置（有标示）；

Note

下降时应持续观察停放台，防止其碰撞传样杆2。

将传样杆1缓慢推入，保持观察样品停放台以防发生碰撞；

调整合适的高度和角度，将传样杆1伸出抓住样品托;

Note

1. 全程应绝对轻柔，如有较大阻力，请联系技术员。

2. 严禁在样品托和停放台接触的情况下调节停放台的高度和角度。

缓缓将传样杆1退出，注意观察样品是否被牢固地取出；

Note

如发现样品托抓取不牢，请联系技术员.

样品完全取出后，将传样杆1退到底；

将样品停放台升至最高点，期间保持观察以防碰撞；

在 图 81 界面中，点击“Close Gate Valve V2”。

确认实验室氮气气路开启；

在 图 81 界面中，点击“Vent Entry Lock”；

等待3-5分钟后，打开进样腔门；

Note

等待期间戴好手套，务必保持左手处于干净的状态

左手轻轻托住样品托，右手旋转传样杆使夹子完全打开，然后取下样品；

Note

如手臂或衣服不慎接触腔体内壁，请联系技术员进行清洁

关闭进样腔门，点击“Pump Down Entry Lock”；

在对话框中点击“Yes”，并检查进样腔门是否关好；

等待1-2分钟，观察到进样腔真空稳步下降后离开。