超高真空互联-表面物理实验室​介绍

水

实验室集中供水出口位于地槽处，共分为3路（编号1、2、3），具体配置及运行情况如下：

1. 1号、2号供水线路由两台25KW大型水冷机组提供，该水冷机组位于PLD设备旁的小房间内；

2. 1号、2号供水系统水质洁净度较高，平台会定期对系统水箱、滤芯进行更换与清洗，确保供水质量稳定；

3. 3号供水线路由室外E5KB107空调机房内的板换设备提供，该板换设备同时作为1号、2号供水线路的备用水冷装置；目前因学校收费相关规定，3号供水线路已停用；

4. 当前实验室集中供水仅启用1号、2号线路，两台水冷机组的运行状态由平台工作人员在工作日进行定期巡检，保障供水稳定。

电

实验室供电结构如下图示。学校双路电源接入108配电箱，随后分为#1、#2两路供电，集中接入x号小配电箱；小配电箱上的空开直接连接各类实验设备，实现设备供电控制。

其中，小配电箱具备断电自动切换功能：默认优先使用#1路供电，当#1路断电时，将自动切换至#2路供电。具体供电路径为：#1路由108配电箱直接供电，#2路经大型UPS（不间断电源）后供电。（供电相关问题及当前状态详见下图说明）

下图表格详细说明实验室插座、空开与对应设备的匹配关系：

气体

实验室气体供应分为集中供气和钢瓶供气两种方式，具体使用情况及要求如下：

实验室目前使用学校集中供气的压缩空气；氮气、氩气等气体则通过钢瓶供应，其中氮气用于vent操作，氩气用于手套箱补气及手套箱LoadLock vent操作，每日需检查各类气瓶的剩余气量，确保气体供应稳定。

实验室同时通过小钢瓶使用氢气、一氧化碳、氨气、氧气、KrF等气体。使用此类气体时，必须严格遵守安全操作规范，严格遵循气体使用流程，注意规范排气，做好泄漏检测与防范工作，杜绝安全隐患。

低温液体

实验室内也常使用液氮和液氦，使用时要注意低温保护，戴好低温手套和护目镜，避免直接接触皮肤；使用时要注意通风，防止窒息风险；其中氦气需注意回收，严禁直接排入大气。

独立地线

实验室的沟槽处设有独立地线，地线总盒子位于实验室内部电梯附近。但由于真空互联装置将所有设备与仪器连接在一起，导致大楼的地线与实验室独立地线通过设备形成连通状态。

常见问题总结和注意

1. 地下沟槽的氮气使用结束后需要关闭阀门，防止泄漏。

2. 检漏或其他目的使用氦气后需要关闭主阀，防止泄露，造成经济损失，一瓶40升纯度5个9的高纯氦气价格1700元(变动)。

3. 随手关闭实验室的门，保持实验室的安全和环境稳定。

4. 禁止在实验室吃喝。

5. 禁止穿拖鞋，或暴露脚部的鞋子进入实验室。

6. 禁止在无人看护的情况下使用加热台。

7. 真空系统开腔后，需要及时用法兰或铝箔包裹密封，避免影响法兰口密封性或对系统造成潜在污染风险，影响设备安全运行。

8. 闸板阀操作后要及时复原，通常为关闭状态。

9. 使用系统时必须登入基理系统。