热蒸发源使用
OMBE设备具有六套Kcell，目前为3个高温源，2个低温源和1个中温源。
每台Kcell都接在水冷盘下方，都由一枚真空推进器包裹，真空推进器前端是一枚手动闸板阀。
使用前准备
换源或填料
无特殊情况，换源时，只需要将源下部和波纹管的链接断开，然后将波纹管摇到最高状态，将源从下部取出。 装源时，将波纹管缩到一定程度后，用塑封袋或A4纸将波纹管固定住，防止它扭动。将源慢慢升入波纹管，过程中源口可能会和腔壁有所刮擦，注意不要受力，调整角度，到位后将波纹管调下来和源固定。
如果情况特殊，将源整体取下来，带着线性驱动，甚至闸板阀。这时将源装回的时候，必须要在大气状态下将源伸入主腔测试，如果有卡住，可以调节拧厚铜垫圈来进行微调。
源从闸板阀下方升入腔体过程中，首先需要完全打开闸板阀，主体是一个通道，但会经过几道坎需要特别注意，如果遇到任何阻力时，需要将源撤回来调整铜垫圈再尝试。主要是闸板阀下面和闸板阀上面的两个铜垫圈，以及腔体下挡板和大水冷之间，通道不是那么连续，有可能会碰到通道的壁，需要注意下。
鉴于出现蒸发源外壳钽片被装，特此写蒸发源填料，换源，除气SOP
问题描述：OMBE蒸发源由源以及线性驱动构成，该线性驱动长度较长，蒸发源在伸入腔体内部时，需要经过闸板阀以及闸板阀上下铜垫圈。蒸发源外径为35-36mm，铜垫圈内径为37-38mm，所以伸入腔体内时需要格外小心，给与的范围较小