EFM3的使用
EFM3是小型的电子束蒸发源，可以用来制备直径不超过15mm的薄膜。在我们设备上，用来制备自旋分辨的Fe膜。
参数表
图 60 EFM参数表
电极接线
4pin的feedthrough提供灯丝电流以及热电电压
SHV-SHV同轴线提供高压
flux monitor提供束流监测 BNC线
检查
4pin， A和B之间的电阻应该小于1Ω，这些pin之间都需要对地绝缘
4pin，D和C之间以及到地之间的电阻应该小于2Ω
检查HV和地之间，以及HV和灯丝之间的电阻，需要大于2MΩ。加高压到400V，观察有无打火出现。是不是可以用耐压表进行测试。
如何装样金属棒
棒的总长度不应该超过50mm，通常来说45mm。在退回到最远的状态时，棒的顶端不能和灯丝定义的平面接触
棒的直径1.5-2.5mm，通常来说2mm
装棒的时候，推进器要退回到最远，不然有可能在插入的过程中损坏灯丝
棒要尽量做到直，不能有弯曲
检查棒安装的同轴性，通过顶部束流出来的口观察，建议在真空外组一个仔细对准（精准到±1mm）
Note
将源取下来后，建议将蒸发源摆动360°测试灯丝电阻是否接地，若有微调灯丝固定螺丝，使得各个朝向下灯丝都对地绝缘。
操作
烘烤
使用前需要烘烤，最高可以到250°C。烘烤前需要把接线和水管移除，并吹干水。
除气
烘烤之后需要进行除气，除气时气压不能超过5E-6mbar。除气过程中不能接水管，不然的话水冷罩的温度没法超过100°C。除气时，所有水都需要吹走。
温度可以从热电偶读取，不能超过300°C。
除气过程中，shutter保持关闭。防止杂质污染样品
用灯丝加热除气
高压设为0V
灯丝电流缓慢升到2.7A
铜的水冷罩会逐渐升温。通常来说会经历1-2小时，来达到200-300℃。
我们是一般加热到 220度以上保持几个小时直到气压明显下降，然后等它一晚上慢慢降温，这个过程始终保持 turbo 开着，因为气压可能到-7
蒸发源除气以及使用
两者步骤一致
连接并打开水冷
将高压加到1000V
逐渐升高灯丝电流到1.7A，再继续增加电流知道看到Emission电流出现以及flux monitor显示1nA左右
如果没有电流出现，需要调整棒的位置。缓慢将棒推进并慢慢，注意不要接触到灯丝。逐渐增加电流到想要的束流。
注意如果出现一个flux monitor突然的增加，快速将发射电流下降
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图 61 EFMwhite
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图 62 EFMblack