OMBE系统介绍

1. 本底真空2.5E-10mbar

2. 10CC K-cell型蒸发源，低温源工作温度100-1100℃，中温源工作温度300-1400℃，高温源工作温度1000-1800℃。

3. 2CC，4坩埚磁偏转电子束源。

4. 臭氧发生器

5. 大尺度氢裂解源(已拆除)

6. 旋转高温样品台 900°C

7. 高精度XY掩模版

8. 气动挡板

9. Staib RHEED

10. 异型停放台

11. 晶振