薄膜、块体样品制备

设备功能分类-产业支撑

先进材料分析
- 拓扑量子材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 角分辨光电子能谱(ARPES) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低温探针台(CRX-4K) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) X射线多晶衍射仪(PXRD)
  
  超导材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 磁学测量系统(MPMS 3) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 角分辨光电子能谱(ARPES) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低温探针台(CRX-4K) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) X射线多晶衍射仪(PXRD)
  
  热电及磁性材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 塞贝克系数/电阻测量系统磁学测量系统(MPMS 3) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 同步热分析仪(TGA-DSC) X射线光电子谱(XPS) 差示扫描量热仪(DSC) 低温闪射法导热仪(LFA) X射线多晶衍射仪(PXRD) 高温闪射法导热仪(LFA HT)
  
  金属材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 磁学测量系统(MPMS 3) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) X射线多晶衍射仪(PXRD) 高温闪射法导热仪(LFA HT) 电子万能试验机
  
  纳米材料分析
  
  比表面积及孔隙分析仪高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 流变仪环境控制原子力显微镜(AFM) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 同步热分析仪(TGA-DSC) 低能电子衍射(LEED) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 电子万能试验机 X射线小角散射仪(SAXS) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  新能源材料分析
  
  比表面积及孔隙分析仪高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 环境控制原子力显微镜(AFM) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 电化学工作站紫外-可见光谱电化学测试系统高温闪射法导热仪(LFA HT) X射线多晶衍射仪(PXRD) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  高分子材料分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 环境控制原子力显微镜(AFM) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 动态热机械分析仪旋转流变仪电子万能试验机 X射线小角散射仪(SAXS) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  生物功能材料分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 流变仪同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线多晶衍射仪(PXRD) 等温滴定微量热仪(ITC) 电子万能试验机双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 低温闪射法导热仪(LFA)

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先进材料分析

聚焦离子束-电子束双束电镜(FIB-SEM)-飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)联用系统原理及应用介绍

时间:2023-12-08 作者:林杨剑点击：

西湖大学物质科学公共实验平台于2023年初投入运行了一套聚焦离子束-电子束双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用系统(FIB-SEM TOF-SIMS)，这对于透射电镜样品的加工、观察、分析至关重要，主要功能和特色有（1）超高分辨率的电镜适合多种试样的极限观察。（2）超高分辨率的FIB可以进行精确的试样加工，尤适合制备定区域TEM薄片。（3）配备cryostage，可进行离子束敏感样品的低温TEM样品制备。（4）配备quickloader和手套箱，可实现空气敏感样品的惰性气氛保护传样。（5）TOF-SIMS具有高的空间分辨率、高的Z方向分辨率，非常适合薄膜分析、ppm级的元素分析和同位素分析。（6）可实现TOF-SIMS、EDS、SEM三维重构分析。

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