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高分辨冷场发射扫描电子显微镜

仪器编号:

联系方式:0571-86912897/18680367989

放置地点:西湖大学(云栖校区)4号楼112室

开放范围:自主测试:校内 送样测试:校内、校外

自主操作 送样检测

实验室:

职位:

邮箱:

仪器编号 联系方式 0571-86912897/18680367989
放置地点 西湖大学(云栖校区)4号楼112室 开放范围 自主测试:校内 送样测试:校内、校外
自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.411.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.411.sample
实验室 职位
邮箱
  • 仪器信息
  • 技术资料
  • 收费标准
  • 预约及送样说明


仪器编号
规格
生产厂家 日立公司 型号 Regulus 8230
制造国家 日本 分类号
放置地点 西湖大学(云栖校区)4号楼112-113实验室 出厂日期 2019/09/04
购置日期 2019/05/24 入网时间 2019/09/04
主要规格及技术指标 场发射扫描电镜主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),检测器包括Top(带能量过滤功能)、Upper和Lower三个二次电子探测器,背散射电子检测器,STEM 检测器。样品交换仓配备等离子清洗装置(Plasma XEI),配备牛津无窗能谱仪(Ultim EXTREME)。
 SE分辨率 15KV:0.6nm (工作距离4mm),1KV:0.7nm(工作距离1.5mm,减速模式)
 BSE分辨率 15KV:3nm
 STEM分辨率 30KV:0.8nm,加速电压:0.01 ~ 30kV
 放大倍数:20-2,000,000倍
 电子枪类型:冷场发射电子枪
 探测器:具有Top(带能量过滤功能)、Upper和Lower三个二次电子探测器,顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号,高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号,并以任意比例混合。在低压下(小于1kV)可以得到背散射电子图像。背散射电子检测器,接受背散射电子信号。STEM 检测器,测试BF/DF/HAADF像
 能谱仪:探测器:无窗型斜插电制冷探测器;能量分辨率:Mn Kα保证优于127eV, 元素分析范围: Be4~Cf98,元素分析下限: Li3

主要功能及特色 扫描电子显微镜是用于试样的显微形貌观察及微区成分分析的必备手段,其特点是景深长,图像层次丰富,立体感强,样品制作简单,不必作超薄切片。该设备是一台高分辨冷场发射扫描电镜,其分辨率为0.6nm(15kV),配置了SE/BSE/STEM探头,以及牛津的无窗能谱仪,可以进行表面形貌观察,微区成分分析,也可以进行STEM分析,可以得到高分辨成分像。
主要附件及配置 探测器:Top(带能量过滤功能)、Upper和Lower三个二次电子探测器,背散射电子检测器,STEM 检测器;
样品交换仓配备等离子清洗装置(Plasma XEI);
牛津无窗能谱仪(Ultim EXTREME)。

 

暂时请参考《Regulus 8230 高分辨冷场发射扫描电镜标准操作规程》



 

类型 项目 细则 校内 校外 说明
自主上机 自主操作 需预约并经过培训和考核 300/ / /
 委托测试  仅形貌观察 每个样品限取5张照片;每个样品限时20min,超出时间将按照每20min一个样计算 150/伪色处理:免费多于5张后,另加5/ 300/伪色处理:30/多于5张后,另加10/ /
仅元素分析测试 EDS元素分析/分布包括:点分析(限3点);线分析;面分析  点分析:150/感兴趣区域(超过每点加收10元);线分析:175/线扫;面分析:200/面扫 点分析:450/感兴趣区域(超过每点加收30元);线分析:500/线扫(超过加收175/线扫);面分析:600/面扫(超过加收200/面扫)。 /
形貌观察和元素分析 SEM每个样品限取5张照片;EDS元素分析/分布包括:点分析(限3点);线分析;面分析;  SEM:与仅SEM收费相同。EDS元素分析/分布:点分析:50/感兴趣区域(超过每点加收10元);线分析:75/线扫;面分析:100/面扫 SEM:与仅SEM收费相同。EDS元素分析/分布:点分析:150/感兴趣区域(超过每点加收30元);线分析:200/线扫;(超过加收75/线扫)面分析:300/面扫(超过加收100/面扫) /
镀金 镀层速度为20nm/min 50/30s 150/30s /
培训 仪器培训 一对一/一对二培训;同等内容的第二次培训,收费1.5 450/ / /


预约说明:

(1) 校内使用者须经过技术员的实验操作培训,考核合格后方可上机使用;

(2) 实验开始时务必在实验记录本上登记,结束时如实记录仪器状态;

(3)添加预约最早可提前: 2 天

(4)添加预约最晚可提前: 2 小时

(5)修改 / 删除预约最晚可提前: 2 小时

样品说明:

样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)。 样品不得具有磁性,并且不易被磁化。 样品中不得含有水分。 样品高度小于15mm,直径小于40mm。 多孔类或易潮解的样品,请提前真空干燥处理。 样品最好具有导电性。若样品不导电,根据实际情况需要进行镀金、碳等导电膜的处理。

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