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高分辨分析型场发射扫描电镜(Zeiss Gemini450 SEM)

仪器编号:

联系方式:

放置地点:云谷校区E10-131

开放范围:自主测试:校内 送样测试:校内、校外

自主操作 送样检测

实验室:微结构与形貌表征实验室

职位:

邮箱: caowenjing@westlake.edu.cn

仪器编号 联系方式
放置地点 云谷校区E10-131 开放范围 自主测试:校内 送样测试:校内、校外
自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.612.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.612.sample
实验室 微结构与形貌表征实验室 职位
邮箱 caowenjing@westlake.edu.cn
  • 仪器设备信息
  • 技术资料
  • 收费标准
仪器编号
规格 822*1082*1757mm
生产厂家 Zeiss 型号 Gemini450
制造国家 Germany 分类号 010102
放置地点 云谷校区E10-131                                                                                          出厂日期 2020/2/17
购置日期 2020/3/3 入网时间 2020/5/15
主要规格及技术指标

二次电子分辨率: 15 kV @ 0.7 nm;1 kV @ 1.1 nm(非减速模式)

分析分辨率:15kV@2.0 nm (5nA,工作距离8.5mm)

背散射电子分辨率: 1 kV @ 1.2 nm

放大倍数:12 ~ 2000000倍

电子枪类型::肖特基场发射灯丝,最大束流40 nA

主要功能及特色 在满足常规的SEM成像应用外,该电镜具备对样品更快的响应和更高的表面灵敏度,Gemini2电子光学镜筒可以快速连续的调节电子束流,对样品进行表面成像,以及快速便捷的EDS能谱和EBSD分析,对不导电样品、磁性样品同样可以高效分析。该电镜配备了蔡司的In-lens SE、In-lens EsB、样品室内E-T SE、aBSD 探测器用于成像分析;蔡司的CL探测器用于阴极荧光成像表征、牛津的EDS、EBSD探测器用于样品的能谱和电子背散射衍射分析。结合以上配置,该设备具备强大的分析功能,满足多种材料多种领域的电镜分析要求。
主要附件及配置
检测器包括镜筒内二次电子探测器InLens,镜筒内背散射电子探测器ESB,二次电子探测器SE2,背散射电子探测器BSD,CL探测器;样品室内配备等离子清洗装置,红外CCD相机;配备样品交换舱,消磁防震系统;配备能谱仪EDS (Oxford, Ultim EXTREME)、电子背散射衍射仪EBSD (Oxford, Symmetry)


技术资料: 场发射环境扫描电镜的标准操作流程

/R043gaofenbianfenxixingchangfashesaomiaodianjingZeissGemini450biaozhuncaozuoguichengV2.pdf




类型

项目

细则

校内收费

校外收费

说明

自主上机

自主操作

需预约并经过培训和考核

330/

/

/

委托测试

形貌观察、元素分析

形貌成像(SE)、BSD成像、CL成像(仅成像)、EDS分析(谱峰、线扫、面扫)

160/样或480/


220/样或660/


1.每个样品限时20min,超出后将按照实际机时收费;

EBSD数据采集及分析

/

480/

660/

1.用户需提供样品晶相、晶粒尺寸等相关基础信息。

镀金

镀层为Au 5nm

60/次或6/nm

100/

1.SEM镀膜,按次收费;

2.镀电极,按厚度收费(限校内用户);

3.不接受单独送样。

镀铂

镀层为Pt 3-5nm

镀碳

镀层为5nm

培训

仪器培训

一对一/一对二培训;同等内容的第二次培训,收费1.5

480/

/

/


联系地址:浙江杭州市西湖区墩余路600号

                     西湖大学云谷校区

邮    编: 310030

邮    箱:iscps@westlake.edu.cn

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