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离子研磨仪

仪器编号:LHB21030105

联系方式:18680367989

放置地点:西湖大学 云栖校区4#112

开放范围:校内/校外

自主操作 送样检测

实验室:

职位:

邮箱:

仪器编号 LHB21030105 联系方式 18680367989
放置地点 西湖大学 云栖校区4#112 开放范围 校内/校外
自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.692.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.692.sample
实验室 职位
邮箱
  • 仪器基本参数
  • 样品要求
  • 收费标准
仪器编号 LHB21030105 规格 IM4000plus
生产厂家 日立 型号 IM4000plus
制造国家 日本 分类号 011299
放置地点 云栖校区4#112 出厂日期 2021/02/24
购置日期 2021/03/10 入网时间 2021/03/23
主要规格及技术指标 1离子源:氩气
2 离子枪数:1个
3 加速电压:0-6Kv
4 截面研磨系统:
4.1加工速度:截面加工500μm/h,6Kv的条件下,Si片,
4.2样品加工位置精确调整:样品托千分尺调整,精度10μm
4.3最大样品尺寸:≤20(W)×12(D)×7(H)mm
4.4样品可移动范围:截面X:±7mm, Y:0~3mm,
4.5挡板可移动范围:X:±8mm,Y:-3~0mm
4.6样品摆动角度:截面研磨±15° ±30° ±40°
4.7样品摆动速度:6°/s, 60°/s
5平面研磨系统
5.1平面加工速度:平面加工2um/h(照射角度0°,偏心量4mm,平面) 20μm/h(照射角度60°,偏心量0mm,点)
5.2偏心量设计:0-5mm
5.3最大样品尺寸: 50φ×25(H)mm
5.4样品加工区域:φ5 mm
5.5样品摆动角度:±60° ±90°
5.6样品台旋转速度:1r/min,25r/min
5.7倾斜角度:0-90°
6冷却系统: 液氮罐容量800CC,最低显示温度-150℃,冷却时间4h

主要功能及特色 使用低能量Ar离子束,加工无应力损伤的样品截面,为SEM观察样品的内部多层结构、结晶状态、异物解析,层厚测量等提供有效的样品前处理方法。或除去样品表层,加工出低损伤平面。


最大样品尺寸: 50φ×25(H)mm

https://iscps.westlake.edu.cn/info/1129/1443.htm


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