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X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)

仪器编号:

联系方式:19967426711/13358560163

放置地点:云栖校区 4号楼103

开放范围:校内/校外

自主操作 送样检测

实验室:

职位:

邮箱:

仪器编号 联系方式 19967426711/13358560163
放置地点 云栖校区 4号楼103 开放范围 校内/校外
自主操作 http://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.529.reserv 送样检测 http://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.529.sample
实验室 职位
邮箱
  • 仪器详细信息 Basic information of instruments
  • 技术资料 Technical documentation
  • 收费标准 Charge
  • 送样须知 Instructions for sample delivery
  • 预约说明 Reservation policy
仪器编号
规格 X射线光电子能谱
生产厂家 Thermo Scientific 型号 ESCALAB Xi+
制造国家 英国 分类号
放置地点 云栖校区 4号楼104 出厂日期
购置日期 2019/03/25 入网时间 2019/12/27
主要规格及技术指标

1、本底真空度优于5*10-10mbar;

2、单色化AlKαX射线源,光斑尺寸200-900um,大光斑极限分辨率0.43eV;

3、XPS能谱分析尺寸20-900um,平行成像精度1um;

4、双极性半球形分析器,可采集ISS离子散射谱,能量分辨率优于12eV;

5、配备同轴/离轴双电子枪,可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量,最佳能量分辨率0.68eV;

6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀,可用于不同敏感性材料的深度剖析;

7、配有反射电子能量损失谱(REELS),可用于氢元素的定量分析;

8、配有俄歇光电子能谱分析(AES),空间分辨率可达95nm,并能够实现相应的形貌表征功能(SEM)。

主要功能及特色

1. 该系统通过测量不同元素的芯能级,能够实现高精度的元素和价态分析。
2. 该系统使用X-射线作为光源,能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据,实现对材料电子结构的完整表征。
3. 该系统具备微区分析功能,可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析,是目前观测薄膜样品元素和价态分布,进而探索其生长机理最有力的工具之一

主要附件及配置

1、单色化AlKαX射线源,光子能量1486.6eV;

2、双极性半球形分析器,可采集ISS离子散射谱,用于超薄表面的元素鉴定和同位素鉴定;
3、配备同轴/离轴双电子枪,可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量;
4、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀,可用于不同敏感性材料的深度剖析;
5、配有反射电子能量损失谱(REELS),可用于H元素的分析;
6、配有俄歇光电子能谱分析(AES),空间分辨率可达95nm,并能够实现相应的形貌表征功能(SEM);

7、配有角分辨ARXPS,用于10nm以内各深度的无损XPS分析。


Basic information

X-ray photoelectron spectroscopy (Thermo Sientific, ESCALAB Xi+) located in Room 104, Building 4.

Specifications and technical indicators

1) Vacuum:<5*10-10mbar

2) Monochromatic Al Kα X-ray source (1486.6eV) with a spot size of 200-900um;Best energy resolution <0.43ev;

3) Analyis area of XPS spectrum is 20-900um, and the spatial resolution of XPS image is 1um;

4) Ion scattering spectroscopy(ISS) with energy resolution better than 12eV;

5) Charge compensation with both coaxial and non-coaxial electron guns for magnetic and non-magenetic insulators;

6) With Ar+ ion and cluster ion etching for depth profiles of different materials;

7) With reflection electron energy loss spectroscopy(REELS) for analysis of Hydrogen;

8) With Auger electron spectroscopy(AES,spatial resolution 95nm) and the corresponding morphology function (SEM)

9) With angle-resolved XPS for non-destructive XPS analysis of depths within 10nm.



X射线光电子能谱 Thermo Scientific Escalab Xi+标准操作规程V1.0

https://iscps.westlake.edu.cn/technique/SOP-XPS-ThermoScientificEscalabXi.pdf 

类型 项目 细则 校内 校外 说明
自主上机
自主操作 需预约并经过培训和考核 400元/小时 / /
委托测试
XPS谱图测试 宽谱和窄谱的扫描
宽谱:140元/样    
窄谱:70元/样    

宽谱:280元/样


窄谱140元/样

每超过30分钟按新样品计算
XPS成像测试 选区和成像扫描测试时间≤1小时 420元/样 840元/样 每超过1个小时按新样品计算
深度剖析 Ar离子刻蚀加元素窄扫或成像 每层按1.5个样品计算+100元/次刻蚀费

每层按2个样品计算+150元/次刻蚀费

刻蚀时间每次不超过5分钟
培训 仪器培训 一对一/一对二培训;同等内容第二次培训为1.5倍 600元/小时 / /


Operation Types Items Requirements Internal prices External prices Comments
Independent operation Independent operation Training, demo and appointment are required. 400Yuan/hour / /
Commissioned test XPS spectra Wide range and narrow range spectra

Wide range:

140 Yuan/sample

Narrow range:

70 Yuan/sample 

Wide range:

280 Yuan/sample

Narrow range

140 Yuan/sample

Spectrum >30min:

counts as a new one every 30min.


XPS image Occupation time ≤1h 420 Yuan/sample 840 Yuan/sample Counts as a new one every 1 hour
Depth profile Ar+ ion etch + narrow range spectra/ XPS image


Count as 1.5sample/level +100yuan/time(Etching fee)

Count as 2 sample/level +100yuan/time(Etching fee)

For etch time 

over 5min:

Counts as one 

more time every 

5min.

Training Instrument training One-on-one or one-on-two training. The first training session is normal charge. Any subsequent training for the same instrument will be charged as a rate of 1.5 times. 600Yuan/hour / /


1、样品应为固体材料(粉末、单晶、多晶、薄膜均可)。粉末样品需充分粘牢。

2、磁性/铁磁性材料应事先声明并充分粘牢。

3、样品厚度一般不超过5mm,尺寸一般不超过20mm*50mm。有特殊需求的请提前联系技术员。


1The sample should be solid (powder/single crystal/polycrystalline/thin film). The powder sample should be fully bonded.

2、Magnetic/ferromagnetic samples should be declared in advance and fully bonded.

3. The thickness of the sample is generally no more than 5mm, and the size is generally no more than 20mm * 50mm. If you have special needs, please contact the technician in advance.




1)开放自主上机资格的用户,请在西湖大学大型仪器共享平台上进行 “预约”选项预约;  

2)委托送样测试的用户,请在西湖大学大型仪器共享平台上进行“送样”选项预约;

3)获得自主上机资格的用户,如2个月以上未预约使用设备,将取消使用权限,重新考核;如3个月以上未预约使用过设备,需重新进行培训。

3)预约/取消预约时间节点:

  • 添加预约最早可提前: 15 天

  • 添加预约最晚可提前: 1 小时

  • 修改 / 删除预约最晚可提前: 6小时


1) Independent operation users can make appointment in the homepage of ISCPS

2) Comissioned test users can make appointment in the homepage of ISCPS

3) Reservaition policy

The earliest time to add an apointment: 15 days

Add appointment at least: 1 hour in advance

Appointment can be modified/ deleted at leat 6 hours in advance


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