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场发射环境扫描电镜(Thermo QuattroS)

仪器编号:

联系方式:13602105701

放置地点:云栖校区4#112-113

开放范围:自主测试:校内 送样测试:校内、校外

自主操作 送样检测

实验室:

职位:

邮箱:

仪器编号 联系方式 13602105701
放置地点 云栖校区4#112-113 开放范围 自主测试:校内 送样测试:校内、校外
自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.637.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.637.sample
实验室 职位
邮箱
  • 仪器设备信息
  • 技术资料
  • 收费标准
仪器编号
规格 902*1250*1997mm
生产厂家 Thermo 型号 QuattroS
制造国家 捷克 分类号 010102
放置地点 西湖大学(云栖校区)4号楼112-113室 出厂日期 2020/1/20
购置日期 2020/3/27 入网时间 2020/8/4
主要规格及技术指标

高真空分辨率:30 kV下≤0.8 nm (STEM),≤1.0 nm (SE),≤2.5 nm (BSE);1kV下≤3.0nm(SE);

低真空分辨率:30 kV下≤1.3 nm (SE),≤2.5 nm (BSE);3kV下≤3.0nm(SE);

环境真空分辨率:30 kV下≤1.3 nm (SE)

配备能谱仪:有效晶体面积100mm2,高分子超薄窗设计,无需液氮冷却

帕尔贴冷台1套,控温范围-20~60℃;

帕尔帖冷台集成式STEM 1套,用于观察湿薄样品;

低真空/环境真空加热台,最高加热温度1400℃;

High Vacuum Resolution: 30 kV≤0.8 nm (STEM),≤1.0 nm (SE),≤2.5 nm (BSE);1kV≤3.0nm(SE)

Low Vacuum Resolution:30 kV≤1.3 nm (SE),≤2.5 nm (BSE);3kV≤3.0nm(SE);

ESEM Resolution:30 kV≤1.3 nm (SE)

EDS Detector: possible sensor size up to 100mm2;

Cooling Stage:-20~60℃ for bulk samples;

WetSTEM :-20~60℃ for thin samples;

Heating Stage: up to 1400℃


主要功能及特色

Quattro S是一台将扫描电镜成像性能与环境模式(ESEM)相结合的电镜。它具备三种真空操作模式(高真空、低真空和环境真空),使得SEM的样品类型具备了更多的灵活性,包括放气或者是与真空状态不相容的样品。环境真空模式还可实现对现实世界条件的模拟,对样品进行原位研究,例如潮湿、热或反应性的环境满足低真空样品和原位观察分析的电镜需求。


The Quattro SEM combines topography SEM analysis  with Environmental Scanning Electron Microscope mode(ESEM). It has three vacuum modes(high vacuum, low vacuum, and ESEM), which provides more flexibility for samples, including outgassing ones or poor accomodation by high vacuum. In-situ observation is possible at ESEM mode (up to 4000 Pa), along with other tunable 'real world' chamber conditions, including temperature, humidity, and partial pressure of reactive gases. This SEM is fully equipped with extensive analytical and in-situ capabilities for its unique tunable environmental conditions.

主要附件及配置

高真空SE探测器 ETD、低真空SE探测器LVD、环境真空SE探测器GSED、背散射探测器DBS、扫描透射探测器STEM3+、软件控制环境真空热台(Heating Stage)、帕尔贴冷台(Cooling Stage)、帕尔贴扫描透射样品台(WetSTEM)、100mm能谱仪。



敬请期待……


类型

项目

细则

校内

校外

自主上机

自主操作

需预约并经过培训和考核

300/

/

委托测试

仅形貌观察

每个样品限取5张照片;每个样品限时20min,超出时间将按照每20min一个样计算

150/样伪色处理:免费多于5张后,另加5/

300/样伪色处理:30/张多于5张后,另加10/

仅元素分析测试

EDS元素分析/分布包括:点分析(限3点);线分析;面分析

点分析:150/感兴趣区域(超过每点加收10元);线分析:175/线扫;面分析:200/面扫

点分析:450/感兴趣区域(超过每点加收30元);线分析:500/线扫(超过加收175/线扫);面分析:600/面扫(超过加收200/面扫)。

形貌观察和元素分析

SEM每个样品限取5张照片;EDS元素分析/分布包括:点分析(限3点);线分析;面分析;

SEM:与仅SEM收费相同。EDS元素分析/分布:点分析:50/感兴趣区域(超过每点加收10元);线分析:75/线扫;面分析:100/面扫

SEM:与仅SEM收费相同。EDS元素分析/分布:点分析:150/感兴趣区域(超过每点加收30元);线分析:200/线扫;(超过加收75/线扫)面分析:300/面扫(超过加收100/面扫)

镀金

镀层速度为20nm/min

50/30s

150/30s


环境模式原位观察实验

利用冷台、热台、WetSTEM在ESEM模式下观察原位变化实验

面议

面议

培训

仪器培训

一对一/一对二培训;同等内容的第二次培训,收费1.5

450/

/


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