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徕卡高真空镀膜仪(High Vacuum Coating instrument)

仪器编号:

联系方式:0571-88119585/13602105701

放置地点:西湖大学(云栖校区)4号楼112室

开放范围:自主测试:校内

自主操作 送样检测

实验室:

职位:

邮箱:

仪器编号 联系方式 0571-88119585/13602105701
放置地点 西湖大学(云栖校区)4号楼112室 开放范围 自主测试:校内
自主操作 http://172.16.10.108/lims/!equipments/equipment/index.690.reserv 送样检测
实验室 职位
邮箱
  • 仪器基本参数
  • 收费标准

基本信息

仪器编号 LHB18120063 规格
生产厂家 徕卡 型号 EM ACE600
制造国家 德国 分类号 011299
放置地点 云栖校区 4#112-113 出厂日期 2020/12/01
购置日期 2021/01/27 入网时间 2021/03/15
主要规格及技术指标 1.极限真空度优于2×10-6mbar。
2.离子溅射电流:15-150mA,连续可调,溅射时间:1-1800s
3.镀膜厚度:1-1000nm可调,自动终止,检测精度0.1nm
4.溅射用工作气体:氩气
5.方形金属样品仓,尺寸宽:200mm,深:150mm,高:195mm
6.样品台直径100mm,带24孔,可插入24个SEM标准样品台
7.内置式彩色触摸屏控制,全自动控制
1. The ultimate vacuum is better than 2×10-6mbar.
2. Sputtering current: 15-150mA, continuously adjustable;Sputtering time: 1-1800s
3. Coating thickness: 1-1000nm, adjustable, automatic termination, detection accuracy 0.1nm
4. Working gas for sputtering: Ar
5.Square metal sample chamber size: width: 200mm, depth: 150mm, height: 195mm
6.The diameter of the sample stage is 100mm, with 24 holes, 24 SEM standard sample stages can be inserted
7. Built-in color touch screen control, automatic control
主要功能及特色 具有磁控溅射溅射法镀金属功能,能够镀Pt;具有脉冲式碳丝蒸发功能,能够镀碳膜;
Sputtering metal Pt,Carbon thread evaporation;


类型

项目

细则

校内

校外

说明

自主上机

喷铂/喷碳

需预约并经过培训和考核,厚度<10 nm

50/

100/

/

厚度>10 nm,按照实际厚度收费

5/nm

10/nm

/

培训

仪器培训

一对一/一对二培训;

200/小时

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