2025年5月28日，物质科学公共实验平台成功举办 “KLA纳米压痕技术在材料科学研究中的应用”的专题讲座，特邀KLA应用科学家谢存毅博士担任主讲嘉宾。本次讲座聚焦纳米压痕技术的原理、功能与科研应用，深入解析纳米压痕技术在材料科学领域的微观力学表征，并提供了技术方法与实践指导。
纳米压痕技术是近年来发展迅速的微尺度材料力学性能表征手段，KLA 的科学家于1983年成功地推出了世界上第一台商业化的纳米压痕仪，最新的纳米压痕力学测试系统能提供纳米级的位移分辨率和纳牛级的载荷分辨率，具备很强的综合测试能力。谢存毅博士在纳米压痕领域深耕20多年，此次讲座中分享了其利用纳米压痕中连续刚度测量功能（CSM）、纳米划痕功能、硬度/模量的3D Mapping、高精度原位3D 成像、应力-应变曲线测试、DMA测试功能、生物材料测试功能获得研究成果，充分显示纳米压痕技术在半导体器件、薄膜，硬质涂层，复合材料，金属材料，陶瓷材料，生物材料等领域广泛应用。
随后，在G200X仪器上谢存毅博士传授了对微米尺寸单晶样品的测试技巧及注意事项，提出对于多层薄膜（300nm）断裂韧性测试方案。本次讲座提升了师生对纳米力学表征技术的认知深度，更通过实操强化了复杂场景下的技术应用能力。平台将持续引入前沿仪器与技术分享，为校内外科研攻关提供有力支撑。
G200X纳米压痕的主要功能及应用
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