仪器配置：
1、光源：3kW封闭Cu靶线焦斑光源
2、HR Optics：Gobel Mirror平行光，2次反射单色器ACC2(Ge022),4次反射单色器ACC4(Ge022)，0.05mm-1mm UBC准直器。
ACC2分辨率可达0.0082°。ACC4分辨率可达0.0061°，ACC2+ACC2分析晶体分辨率可达0.0044°，ACC4+ACC2分析晶体分辨率可达0.0038°。
3、样品台：
1）5轴尤拉环样品台Centric Eulerian Cradle (CEC)：
x、y：+/- 40 mm样品移动；
z：高度对准；
Phi：360°旋转;
Psi：-11°-98°;
提供5"真空吸盘及各种样品台附件。
2）带KEC的倾斜样品台Tilt Stage with KEC：电动Zeta/Xi
4、Pathfinder Plus Optics：包含电动狭缝，2-b Ge分析晶体，集成自动吸收器。
5、EIGER2 R 250K探测器：EIGER2可高效支持各种数据采集策略，允许用户获得每种样品类型的最佳衍射数据：
0D模式适用于粗糙表面、多晶涂层和外延膜样品
1D模式适用于粉末超快速扫描，采用反射（Bragg-Brentano）或透射衍射几何进行测量，以及用于外延膜倒易空间图谱
2D模式适用于少量样品、择优取向或大晶粒材料，用于微测图以及用于应力和织构分析。
6、ATLAS测角仪：业界领先的角度精度：在NIST SRM 1976确定的整个角度范围内，保证±0.007°2θ，无缝集成D8系列组件：包括光学器件、双激光定位单元、定位摄像头、样品台、探测器技术。
7、非共面臂：第三测角仪轴，用于研究超薄层和面内样品特性：最小步长：0.001°；最高2θ范围（取决于配置）：160°；探测器自动距离检测。
主要功能：
1、高分辨率XRD、摇摆曲线rocking curve、面外对称2theta-omega、斜对称2theta-omega、phi scan、倒易空间mapping（RSM）、快速RSM分析
2、X射线反射法、掠入射衍射（GID）、面内衍射、GISAXS、GI应力分析、晶体取向分析
3、残余应力分析、织构和极图、微区X射线衍射
特色功能：
1、薄膜共面及非共面掠入射分析：
1）在共面实验中，射线源和探测器相对于样品表面的角度有所加大，因此探测角度是进入样品表面的。
掠入射衍射（GID）：晶相表面灵敏识别及结构性质测定，包括微晶尺寸和应变。
X射线反射法（XRR）：用于提取从简单的基底到高度复杂的超晶格结构等多层样品的厚度、材料密度和界面结构信息。
掠入射小角X射线散射（GISAXS）
2）在非共面实验中，射线源和探测器相对于样品表面的角度是固定的，检测器以平行于样品表面的方向移动，因此探测方向是沿着样品表面的。
面内掠入射衍射（IPGID）：可将穿透深度减至nm，从而实现表面隔离并提高对具有原子厚度的层的灵敏探测。
多晶IPGID可测定面内晶粒尺寸
外延IPGID可直接测定面内晶格参数和面内取向。
