多功能大样品台原子力显微镜（JupiterXR AFM）-西湖大学物质科学公共实验平台

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仪器设备

设备功能分类-科技支撑

表面分析
- 分子束外延与原位表面分析
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE)
  
  高通量薄膜样品制备
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE)
  
  低温原位能带-形貌-输运-组分-价态联合分析
  
  扫描隧道显微镜(STM) X射线光电子能谱(XPS) 角分辨光电子能谱(ARPES)
  
  高分辨三维自旋电子能带分析
  
  角分辨光电子能谱(ARPES)
  
  样品形貌-输运-界面电子态分析
  
  扫描隧道显微镜(STM)
  
  材料组分分布-价态-深度剖析
  
  X射线光电子能谱(XPS)
微区分析
- 微区形貌-粒径-三维尺寸分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）场发射环境扫描电镜（SEM）环境控制原子力显微镜(AFM) 高分辨薄膜XRD(HR-TF XRD)
  
  微区成分分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）场发射环境扫描电镜（SEM）高分辨薄膜XRD(HR-TF XRD)
  
  微区结构分析
  
  高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）环境控制原子力显微镜(AFM)
  
  微区缺陷分析
  
  环境控制原子力显微镜(AFM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）
  
  微区电学-磁学-摩擦学-力学等分析
  
  环境控制原子力显微镜(AFM)
成分分析
- 有机成分分析
  
  双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF) X射线光电子谱(XPS)
  
  无机成分分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 原位XRD(in-situ XRD) X射线光电子谱(XPS)
  
  元素分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）场发射环境扫描电镜（SEM） X射线光电子谱(XPS) X射线荧光光谱仪(XRF)
  
  定量分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 原位XRD(in-situ XRD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF) X射线光电子谱(XPS)
结构鉴定
- 有机化合物结构分析
  
  双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF)
  
  无机材料结构分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 原位XRD(in-situ XRD)
  
  生物分子结构分析
  
  双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF)
  
  晶胞参数-晶型分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF)
  
  晶体取向-织构分析
  
  高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）劳厄背散射仪(Laue)
物性分析
- 极低温强磁场物性分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 低温探针台(CRX-4K) 磁学测量系统（MPMS3）无液氦制冷机（TeslatronPT））
  
  热学性能分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) 低温闪射法导热仪(LFA) 高温闪射法导热仪(LFA HT) 等温滴定微量热仪(ITC) 动态热机械分析仪旋转流变仪
  
  力学性能分析
  
  电子万能试验机旋转流变仪动态热机械分析仪
  
  电学性能分析
  
  塞贝克系数/电阻测量系统无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 低温探针台(CRX-4K) 电化学工作站紫外-可见光谱电化学测试系统无液氦制冷机（TeslatronPT-14T））
  
  磁学性能分析
  
  磁学测量系统（MPMS3）综合物性测量系统（PPMS-16T)）
  
  光学性能分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS)
  
  粒度、密度、弛豫、扩散分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS)
  
  应力、应变分析
  
  原位XRD(in-situ XRD) 高分辨薄膜XRD(HR-TF XRD) 动态热机械分析仪
  
  荧光寿命分析
  
  比表面积、孔隙率、孔径分析
  
  比表面积及孔隙分析仪
原位分析
- 催化及合成过程分析
  
  原位XRD(in-situ XRD)
  
  动力学分析
  
  场发射环境扫描电镜（SEM）差示扫描量热仪(DSC) 原位XRD(in-situ XRD)
  
  原位电化学分析
  
  环境控制原子力显微镜(AFM) 电化学工作站原位XRD(in-situ XRD)
  
  变温相变、反应分析
  
  场发射环境扫描电镜（SEM）原位XRD(in-situ XRD)
  
  超高真空材料原位生长及分析
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE)
样品制备
- 电镜样品制备
  
  离子溅射镀膜仪徕卡高真空镀膜仪离子研磨仪
  
  薄膜、块体样品制备
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE) 光学浮区炉(OFZ) 真空自动封管系统

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电镜样品制备

薄膜、块体样品制备

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先进材料分析
- 拓扑量子材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 角分辨光电子能谱(ARPES) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低温探针台(CRX-4K) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) X射线多晶衍射仪(PXRD)
  
  超导材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 磁学测量系统(MPMS 3) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 角分辨光电子能谱(ARPES) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低温探针台(CRX-4K) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) X射线多晶衍射仪(PXRD)
  
  热电及磁性材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 塞贝克系数/电阻测量系统磁学测量系统(MPMS 3) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 同步热分析仪(TGA-DSC) X射线光电子谱(XPS) 差示扫描量热仪(DSC) 低温闪射法导热仪(LFA) X射线多晶衍射仪(PXRD) 高温闪射法导热仪(LFA HT)
  
  金属材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 磁学测量系统(MPMS 3) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) X射线多晶衍射仪(PXRD) 高温闪射法导热仪(LFA HT) 电子万能试验机
  
  纳米材料分析
  
  比表面积及孔隙分析仪高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 流变仪环境控制原子力显微镜(AFM) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 同步热分析仪(TGA-DSC) 低能电子衍射(LEED) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 电子万能试验机 X射线小角散射仪(SAXS) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  新能源材料分析
  
  比表面积及孔隙分析仪高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 环境控制原子力显微镜(AFM) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 电化学工作站紫外-可见光谱电化学测试系统高温闪射法导热仪(LFA HT) X射线多晶衍射仪(PXRD) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  高分子材料分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 环境控制原子力显微镜(AFM) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 动态热机械分析仪旋转流变仪电子万能试验机 X射线小角散射仪(SAXS) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  生物功能材料分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 流变仪同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线多晶衍射仪(PXRD) 等温滴定微量热仪(ITC) 电子万能试验机双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 低温闪射法导热仪(LFA)

设备功能分类-产业支撑

先进材料分析

拓扑量子材料分析

超导材料分析

热电及磁性材料分析

金属材料分析

纳米材料分析

新能源材料分析

高分子材料分析

生物功能材料分析

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多功能大样品台原子力显微镜（JupiterXR AFM）

仪器编号：

联系方式：

放置地点：云谷校区E10-132

开放范围：自主测试：校内送样测试：校内、校外

自主操作送样检测

实验室：

职位：

邮箱：hezhaner@westlake.edu.cn

仪器详细信息
技术资料
收费标准
样品要求及预约说明

仪器编号		规格
生产厂家	牛津仪器	型号	Jupiter XR
制造国家	美国	分类号
放置地点	云谷校区E10-132	出厂日期	2022/09
购置日期	2022/04	入网时间	2022/10
主要规格及技术指标	XY 方向最大扫描范围：100 * 100μm Z 方向最大扫描范围：12μm 系统 XY 方向闭环噪音水平：150pm 系统 Z 方向闭环噪音水平：35pm 样品台直径：200mm 样品台移动范围 200 300mm 导电测试：电流范围：1pA-20nA，精度：1pA SCM 模式：横向分辨率＜20nm，电容灵敏度＜1aF，载流子浓度测试范围： 11015~1*1020 高压模式：电压范围：0-150V，兼容所有的 PFM 模式。纳米拉伸台：最大拉力值 80N，力学分辨率 0.2N，拉伸精度 500μm。外加磁场模块：水平方向 0-8000oe，垂直方向 0-1200oe，分辨率 10oe 外加光场模块：从样品底部引入外加光场垂直照射样品，通过 0.5``直径光纤引入，样品上的最大光强为光纤光强的 1/2
主要功能及特色	系统功能模式(Function Mode)： • 轻敲模式(Tapping Mode ) • 接触模式(Contact Mode AFM) • 相位成像模式(Phase Imaging) • 横向力显微镜(Lateral Force Microscopy, LFM) • 磁力显微镜(Magnetic Force Microscopy, MFM) • 压电力显微镜( PFM mode) • 压电力转换谱测试( Switching spectroscopy PFM) • 扫描开尔文显微镜（SKPM） • 静电力显微技术( EFM) • 力曲线测试（Force-curve） • 力阵列测量(Force Volume Measurement) • 纳米刻蚀(Nanolithography) • 纳米操纵(Nanomanipulation) 独有专利技术 • 高次谐波成像模式（Dual AC Mode） • 双频共振追踪压电模式（Dual frequency rVRSonance tracking） • Macrobuilder（智能编程模式） • GetReal（智能探针校准模式） • GetStarted（智能扫描模式） • AM-FM 粘弹性成像模式(AF-FM mode) • 接触共振粘弹性模式(Dual frequency resonance tracking) • 扫描电容成像模块(SCM Mode) • 液体成像模块（liquid imaging） • 纳米拉伸台（NanoRack-JUP） • 外加磁场模块（VFM mode) • 外加光场模块(PV-Jup) • 快速力谱成像以及快速电流成像模块(FFM-JUP)
主要附件及配置	基本成像模块、力学模块、压电力模块、加热模块、电学测试模块、液相模块、外加光场模块、外加磁场模块、纳米拉伸台

技术资料：多功能大样品台原子力显微镜标准操作流程

https://iscps.westlake.edu.cn/technique/R047duogongnengdayangpintaiyuanzilixianweijingbiaozhuncaozuoguichengV1_0.pdf

类型	项目	细则	校内收费	校外收费	说明
自主上机	自主操作	需预约并经过培训和考核	300元/时	/	自带探针
委托测试	气相测试	气相成像、力学性能（Force Curve/AM-FM/FFM)、电学性能（CAFM/KPFM/EFM/PFM)、扫描电容SCM、磁学性能MFM	220元/样或450元/时	300元/样或600元/时	1.气相测试每个样品限时30min，超出后将按照实际机时收费； 2.液相测试每个样品限时60min，超出后将按照实际机时收费； 3.探针被样品污染或损坏，加收探针耗材费用； 4.建议自带探针； 5.原位实验如需设计实验方案，面议。
	液相测试	液相成像、力学测试	450元/样或450元/时	600元/样或600元/时
	原位测试	改变气氛、改变溶液、原位电化学液池、原位光场、原位拉伸、原位磁场	450元/时	600元/时
培训	仪器培训	一对一/一对二培训；同等内容的第二次培训，收费1.5倍	450元/时	/	/

样品要求：

气相样品表面干净、平整，起伏不超过12微米

液相样品要良好的固定在衬底上，不接受强酸、强碱溶液

预约说明：

自主上机：经过培训考核后可自主上机，自备探针

送样预约：在大仪系统中提交送样，并与仪器负责人沟通样品情况和测试时间

培训预约：在大仪系统中提交报名培训，并与仪器负责人沟通培训时间

校内连接: 实验室与科研设施部; 生物医学实验技术中心; 先进微纳加工与测试平台; 分子科学公共实验平台; 实验动物中心; 高性能计算中心

校外连接: 清华大学仪器共享服务平台; 上海交通大学分析测试中心; 浙江大学大型仪器共享平台

联系地址：浙江杭州市西湖区墩余路600号

西湖大学云谷校区

邮编: 310030

邮箱：iscps@westlake.edu.cn

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