1、本底真空度优于5*10-9mbar； 2、单色化AlKαX射线源，光斑尺寸10-400um，分辨率≤0.5 eV； 3、测试时可原位加热，范围室温至1073 K，升温速率0-50 K； 4、配备全自动样品进样和传输装置； 5、配备同轴/离轴双电子枪，可用于弱磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量，最佳能量分辨率0.82eV； 6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀，可用于不同敏感性材料的深度剖析； 7、配有紫外光电子能谱（UPS）,可用于导电样品的功函数和价带分析； 8、配有原位拉曼光谱仪（Raman），波段为532 nm和785 nm，准确度 ±2 cm-1。 9、配有原位电镜样品台，可实现XPS + SEM原位转移测试。 |
