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聚焦离子束-电子束双束电镜(FIB-SEM)-飞行时间二次离子质谱联用系统(TOF-SIMS) Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope with TOF-SIMS

仪器编号:

联系方式:19967426711/19855019800/18842815402

放置地点:云谷校区E10-178

开放范围:自主测试:校内;送样测试:校内/校外

自主操作 送样检测

实验室:材料电镜实验室

职位:

邮箱:shengpei@westlake.edu.cn

仪器编号 联系方式 19967426711/19855019800/18842815402
放置地点 云谷校区E10-178 开放范围 自主测试:校内;送样测试:校内/校外
自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.860.reserv 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.860.sample
实验室 材料电镜实验室 职位
邮箱 shengpei@westlake.edu.cn
  • 仪器基本信息
  • 技术资料
  • 收费标准




生产厂家 赛默飞 型号 Helios 5 UX
制造国家 美国 分类号 010102
放置地点 西湖大学(云谷校区)学术环E10-178 出厂日期 2022/12/01
购置日期 2023/01/17 入网时间 2023/04/23
主要规格及技术指标

1. SEM分辨率(SEM Resolution):

At optimum WD: 0.6 nm@15 kV, 0.7 nm @1 kV, 1.0 nm @ 500 V (ICD); At coincident point: 0.6 nm @ 15 kV, 1.2 nm @ 1 kV;

2. FIB(液态Ga离子源)分辨率(FIB Resolution):≤ 2.5 nm@30kV;

3. 探测器(Detectors

Elstar in-lens SE/BSE detector (TLD-SE,TLD-BSE); Elstar in-column SE/BSE detector (ICD); Elstar in-column BSE detector (MD); Everhart-ThornleySE detector (ETD); High-performancein-chamber electron and ion detector (ICE) ; forsecondary ions (SI) and electrons (SE);Retractable,low-voltage, high-contrast, directional, solid-state backscatterelectrondetector (DBS); IRcamera for viewing sample/column;Samplenavigation with in-chamber Nav-Cam Camera.

4. 能谱(EDS):100 mm2 SDD detector;Be4-Cf98 can be detected.

5. 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS):
Mass Resolving Power M/ΔM FWHM >700; Mass Range (Th): 1-500; Lateral Spatial Resolution: 50 nm; Depth Resolution: 10 nm; Limit of Detection: ppm.

主要功能及特色

1. 超高分辨率的电镜适合多种试样的极限观察。Ultra-high resolution electron microscopy is suitable for limit observation;

2. 超高分辨率的FIB可以进行精确的试样加工,尤适合制备定区域TEM薄片。Ultra-high resolution FIB can be used for precise sample processing, especially for the preparation of TEM lamella with fixed area;

3. 配备cryostage,可进行离子束敏感样品的低温TEM样品制备。Cryostage is especially designed for TEM sample preparation for ion beam sensitive samples;

4. 配备quickloader和手套箱,可实现空气敏感样品的惰性气氛保护传样。Air sensitive samples can be tranfered with inert atmosphere protection using equiped quickloader and glove-box;

5. TOF-SIMS具有高的空间分辨率、高的Z方向分辨率,非常适合薄膜分析、ppm级的元素分析和同位素分析。TOF-SIMS has excellent spatial resolution and high Z-direction resolution,which makes it very suitable for thin film analysis, trace element analysis and isotope analysis;

6. 可实现TOF-SIMS、EDS、SEM三维重构分析。TOF-SIMS, EDS and SEM 3D reconstruction analysis are available.

主要附件及配置 电子枪electron column:Elstar UC+
离子枪ion column: Phoenix (TM)
离子源ion source: Ga+
能谱EDS
飞行时间-二次离子质谱TOF-SIMS
软件Software: AutoTEM 5, AutoSlice and View 4, NanoBuilder, Maps3




类型

项目

细则

校内

校外

说明

自主

上机

电子束成像及分析样品制备加工、

TOF-SIMS分析、三维重构分析

需预约并经过

培训和考核

1000元/小时

/

耗材:铜网50元/个,钼网200元/个


委托

测试

常温TEM样品制备

/

4000元/样

6000元/样

冷台TEM样品制备

/

6000元/样

10000元/样

TOF-SIMS、三维重构

/

1500元/小时

2000元/小时

培训

TEM制样、TOF-SIMS、三维重构

等培训

1对1或1对2

1500元/小时

/


联系地址:浙江杭州市西湖区墩余路600号

                     西湖大学云谷校区

邮    编: 310030

邮    箱:iscps@westlake.edu.cn

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