类型 |
项目 |
细则 |
校内 |
校外 |
说明 |
自主上机 |
薄膜制备 |
1.对多种材料进行溅射；2.可进行Ar/N2/O2三种气氛溅射；3.基片温度控制室温-500℃；4. 2英寸及以下尺寸的溅射镀膜 |
250元/时 |
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Au、Pt、Pd等贵金属增加5元/nm；特殊靶材请自带； |
委托测试 |
薄膜制备 |
1.对多种材料进行溅射；2.可进行Ar/N2/O2三种气氛溅射；3.基片温度控制室温-500℃；4. 2英寸及以下尺寸的溅射镀膜 |
400元/时 |
500元/时 |
校外Au、Pt、Pd等贵金属增加元10元/nm；特殊靶材请自带； |
培训 |
仪器培训 |
一对一/一对二培训；同等内容的第二次培训，收费1.5倍 |
400元/时/人 |
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注：
(1)平台可提供靶材：Cu、Ag、Al、Ti、Ni、Al2O3、AlSi、Cr、Ta；贵金属靶有Au、Pt、Pd；平台靶材因操作失误到时损坏，需用户回购；
(2)允许用户自带靶材，若涉及靶材更换，换靶时间计入预约机时中。
