高低温探针电学/光电测量系统（I-V/C-V/脉冲电学测试） -西湖大学物质科学公共实验平台

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仪器设备

设备功能分类-科技支撑

表面分析
- 分子束外延与原位表面分析
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE)
  
  高通量薄膜样品制备
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE)
  
  低温原位能带-形貌-输运-组分-价态联合分析
  
  扫描隧道显微镜(STM) X射线光电子能谱(XPS) 角分辨光电子能谱(ARPES)
  
  高分辨三维自旋电子能带分析
  
  角分辨光电子能谱(ARPES)
  
  样品形貌-输运-界面电子态分析
  
  扫描隧道显微镜(STM)
  
  材料组分分布-价态-深度剖析
  
  X射线光电子能谱(XPS)
微区分析
- 微区形貌-粒径-三维尺寸分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）场发射环境扫描电镜（SEM）环境控制原子力显微镜(AFM) 高分辨薄膜XRD(HR-TF XRD)
  
  微区成分分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）场发射环境扫描电镜（SEM）高分辨薄膜XRD(HR-TF XRD)
  
  微区结构分析
  
  高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）环境控制原子力显微镜(AFM)
  
  微区缺陷分析
  
  环境控制原子力显微镜(AFM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）
  
  微区电学-磁学-摩擦学-力学等分析
  
  环境控制原子力显微镜(AFM)
成分分析
- 有机成分分析
  
  双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF) X射线光电子谱(XPS)
  
  无机成分分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 原位XRD(in-situ XRD) X射线光电子谱(XPS)
  
  元素分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）场发射环境扫描电镜（SEM） X射线光电子谱(XPS) X射线荧光光谱仪(XRF)
  
  定量分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 原位XRD(in-situ XRD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF) X射线光电子谱(XPS)
结构鉴定
- 有机化合物结构分析
  
  双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF)
  
  无机材料结构分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 原位XRD(in-situ XRD)
  
  生物分子结构分析
  
  双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF)
  
  晶胞参数-晶型分析
  
  X射线多晶衍射仪(PXRD) 双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 高分辨透射及PDF散射系统(PDF)
  
  晶体取向-织构分析
  
  高分辨分析型场发射扫描电镜（SEM）劳厄背散射仪(Laue)
物性分析
- 极低温强磁场物性分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 低温探针台(CRX-4K) 磁学测量系统（MPMS3）无液氦制冷机（TeslatronPT））
  
  热学性能分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) 低温闪射法导热仪(LFA) 高温闪射法导热仪(LFA HT) 等温滴定微量热仪(ITC) 动态热机械分析仪旋转流变仪
  
  力学性能分析
  
  电子万能试验机旋转流变仪动态热机械分析仪
  
  电学性能分析
  
  塞贝克系数/电阻测量系统无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 低温探针台(CRX-4K) 电化学工作站紫外-可见光谱电化学测试系统无液氦制冷机（TeslatronPT-14T））
  
  磁学性能分析
  
  磁学测量系统（MPMS3）综合物性测量系统（PPMS-16T)）
  
  光学性能分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS)
  
  粒度、密度、弛豫、扩散分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS)
  
  应力、应变分析
  
  原位XRD(in-situ XRD) 高分辨薄膜XRD(HR-TF XRD) 动态热机械分析仪
  
  荧光寿命分析
  
  比表面积、孔隙率、孔径分析
  
  比表面积及孔隙分析仪
原位分析
- 催化及合成过程分析
  
  原位XRD(in-situ XRD)
  
  动力学分析
  
  场发射环境扫描电镜（SEM）差示扫描量热仪(DSC) 原位XRD(in-situ XRD)
  
  原位电化学分析
  
  环境控制原子力显微镜(AFM) 电化学工作站原位XRD(in-situ XRD)
  
  变温相变、反应分析
  
  场发射环境扫描电镜（SEM）原位XRD(in-situ XRD)
  
  超高真空材料原位生长及分析
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE)
样品制备
- 电镜样品制备
  
  离子溅射镀膜仪徕卡高真空镀膜仪离子研磨仪
  
  薄膜、块体样品制备
  
  高通量激光分子束外延(LMBE) 高通量氧化物分子束外延(OxMBE) 光学浮区炉(OFZ) 真空自动封管系统

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电镜样品制备

薄膜、块体样品制备

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先进材料分析
- 拓扑量子材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 角分辨光电子能谱(ARPES) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低温探针台(CRX-4K) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) X射线多晶衍射仪(PXRD)
  
  超导材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 磁学测量系统(MPMS 3) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 角分辨光电子能谱(ARPES) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 反射式高能电子衍射(RHEED) 低温探针台(CRX-4K) 低能电子衍射(LEED) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) X射线多晶衍射仪(PXRD)
  
  热电及磁性材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 塞贝克系数/电阻测量系统磁学测量系统(MPMS 3) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 同步热分析仪(TGA-DSC) X射线光电子谱(XPS) 差示扫描量热仪(DSC) 低温闪射法导热仪(LFA) X射线多晶衍射仪(PXRD) 高温闪射法导热仪(LFA HT)
  
  金属材料分析
  
  无液氦综合物性测量系统(PPMS DynaCool) 高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 磁学测量系统(MPMS 3) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 无液氦稀释制冷机(Triton-500) 环境控制原子力显微镜(AFM) 无液氦制冷机(Teslatron PT14T50mm) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) X射线多晶衍射仪(PXRD) 高温闪射法导热仪(LFA HT) 电子万能试验机
  
  纳米材料分析
  
  比表面积及孔隙分析仪高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 流变仪环境控制原子力显微镜(AFM) 角分辨光电子能谱(ARPES) 反射式高能电子衍射(RHEED) 同步热分析仪(TGA-DSC) 低能电子衍射(LEED) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 扫描隧道显微镜(STM) 电子万能试验机 X射线小角散射仪(SAXS) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  新能源材料分析
  
  比表面积及孔隙分析仪高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 环境控制原子力显微镜(AFM) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 电化学工作站紫外-可见光谱电化学测试系统高温闪射法导热仪(LFA HT) X射线多晶衍射仪(PXRD) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  高分子材料分析
  
  高分辨冷场发射扫描电子显微镜(SEM) 广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 高分辨分析型场发射扫描电镜(SEM) 环境控制原子力显微镜(AFM) 同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线光电子谱(XPS) 动态热机械分析仪旋转流变仪电子万能试验机 X射线小角散射仪(SAXS) 低温闪射法导热仪(LFA)
  
  生物功能材料分析
  
  广角动态光散射仪(WADLS) 瞬态/稳态荧光光谱仪(FLS) 流变仪同步热分析仪(TGA-DSC) 差示扫描量热仪(DSC) X射线多晶衍射仪(PXRD) 等温滴定微量热仪(ITC) 电子万能试验机双微焦斑单晶XRD(SCD) 液态金属靶单晶XRD(MJ SCD) 低温闪射法导热仪(LFA)

设备功能分类-产业支撑

先进材料分析

拓扑量子材料分析

超导材料分析

热电及磁性材料分析

金属材料分析

纳米材料分析

新能源材料分析

高分子材料分析

生物功能材料分析

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高低温探针电学/光电测量系统（I-V/C-V/脉冲电学测试）

仪器编号：20106106-9016

联系方式：18680367989

放置地点：云谷校区学术环E10-138

开放范围：校内/校外

自主操作送样检测

实验室：综合物性分析实验室

职位：无

邮箱：yangzhen@westlake.edu.cn

仪器设备信息
技术资料
收费标准

仪器编号	20106106-9016	规格	Summit1100B-M&B1500A&Axioscope
生产厂家	德国	型号
制造国家	德国	分类号	010899
放置地点	云谷校区学术环E10-138	出厂日期	2022/10/12
购置日期	2022/05/20	入网时间	2022/10/12
主要规格及技术指标	"一、探针台 1.探针台满足8英寸低噪声晶圆直流测试，温度范围-60-300℃； 2.探针台配置4个直流探针座+2个射频探针座， X/Y/Z移动范围：不低于12.5mm12.5mm12.5mm，精度不低于 100TPI(250um/turn) 3.具备3同轴载物台（≥8in.能兼容6in.和4in.晶圆），X-Y 轴行程：≥203mm*203mm，θ方向：转动角度范围+/-5.5°； 4.载物台漏电：≤15fA@温控系统关闭；≤20fA@25℃ ； 5.磁吸三轴转换连接面板: 两个； 6.其他：配备数码电子显微镜，内置双CCD；放大倍率50倍到500倍连续可变；并具备Top-Hat盖帽板，保证良好的电磁与光屏蔽的精密量测环境，保证fA级测试精度；光强衰减大于120dB 二、B1500A 1、最大吸收电流：4.2 A。 2、高功率SMU模块：a.电压范围：±200 V；b.电流范围：±1 A；c.电压测量分辨率：2uV；d.电流测量分辨率：10 fA。 3、高精度SMU模块：a.电压范围：±100 V；b.电流范围：±100 mA；c.电压测量分辨率：0.5 uV；d.电流测量分辨率：1 fA。 4、配有一个电容电压测试模块：a.频率范围：1 KHz~5 MHz；b.偏置电压范围：±25 V；c.测量精度：0.2 %。 5、脉冲发生模块：a.最小脉冲宽度：50ns；b.重复频率：0.1 Hz~33 MHz；c.上升时间：15 ns；d.脉冲发生器电压范围：±40 V。 6、配有一个任意波形发生测量模块：a.最小输出脉冲宽度：50 ns；b.最小测量脉冲宽度：145ns；c.快速脉冲电压范围：±10 V；d.快速脉冲电流范围：±10 mA；e.示波器功能采样速度：5 ns。 7、配有电压扩展模块，可将偏置电压扩展到±100V，并且实现IV/CV自动切换功能。 8、配有电压模块和脉冲模块的切换模块。三、显微镜 1.正置照相显微镜，配置LED光源和HXP荧光光源，光路采用无限远轴向及径向双重色差校正及反差增强型光路系统。 2.物镜转盘：6孔及以上带编码明暗场DIC物镜转盘，各物镜在切换时齐焦同轴，配有透/反射光明场、高级暗场、C-DIC、偏光、荧光和相衬观察方式；其中荧光滤块：10号绿色荧光带通滤块、20号Rhodamin荧光带通滤块、49号DAPI荧光带通滤块 3.10X宽视野三目镜筒，视场数≥23mm。 4.机械载物台行程：X方向不低于75mm，Y方向不低于50mm. 5.套制冷型CCD相机，600W像素。"
主要功能及特色	可以进行常温和变温（-60-300℃）条件下的 IV、CV、脉冲/动态 I-V 等参数测量。主机和插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。可以在 CV 和 IV 测量之间快速切换，无需重新连接线缆。能够捕获其他传统测试仪器无法捕获的超快速瞬态现象。能够检测 1 kHz 至 5 MHz 范围内的多频交流电容测量值。HV-SPGU可生成电压高达 ± 40 V、脉宽最小 10 ns 的脉冲– 先进输出电压监测功能可监测脉宽最小 5 µs 的脉冲信号，WGFMU可编程分辨率达到 10 ns 的波形生成功能– 能够同时执行高速 IV 测量（200 Msa/s， 5 ns 采样间隔）。配置两个专用光波探针，单模，适用波长范围：1300nm～1550nm。

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类型	项目	细则	校内	校外	说明
自主上机	全温区范围内的I-V、C-V测量	以装样、拆样时间点为计时点；需预约并经过培训和考核后自主上机操作	240元/时	/	/
委托测试	全温区范围内的I-V、C-V测量	以装样、拆样时间点为计时点	350 元/时	450 元/时	委托测试请提供明确测试需求及条件；实验参数摸索或特殊实验条件准备计入测试时间内
培训	基础/高阶培训	一对一/一对二培训培训；同等内容的第二次培训，收费1.5倍	400 元/时/人	/	需熟练掌握基础测试培训后开放高阶培训

注：

（1）用户需承担耗材费和操作不当产生的所有费用，若探针被样品污染/损坏，需自行回购；

（2）变温测试中压缩空气吹扫及变温/复温时间计入有效机时。

校内连接: 实验室与科研设施部; 生物医学实验技术中心; 先进微纳加工与测试平台; 分子科学公共实验平台; 实验动物中心; 高性能计算中心

校外连接: 清华大学仪器共享服务平台; 上海交通大学分析测试中心; 浙江大学大型仪器共享平台

联系地址：浙江杭州市西湖区墩余路600号

西湖大学云谷校区

邮编: 310030

邮箱：iscps@westlake.edu.cn

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